三維光學輪廓儀系統配備自動化掃描平臺，藉由垂直軸自動化移動平臺的掃描功能搭配快速的自動對焦算法，可有效輔助用戶找到*的對焦位置，另外藉由傾斜調整平臺可快速地將待測物調平，在短短的幾秒鐘之內無需繁復的操作，系統即可自動將待測物體調整至*對焦位置并予以調平進行量測。

 

目前商用白光干涉分析儀zui常使用之質心算法來計算表面高度，因光線繞射的效應在某些位置產生錯誤高度計算，造成量測結果邊界輪廓出現錯誤的信息，本系列產品采用開發3D Profiler Master量測軟件，并搭配Chroma干涉訊號處理算法來分析白光干涉圖譜，可將邊界錯誤問題予以避免。此外，系統亦搭載Chroma的暗點處理功能，可有效過濾并修正無法產生干涉之問題數據點，將這些暗點去除后可降低量測上的誤差。由于暗點處理的機制在資料擷取期間執行，因此暗點濾除功能可有效率的執行，由于暗點乃參考其附件周圍數據來進行修正，因此可使得量測更加強固且可靠。

 

三維光學輪廓儀新一代的系統模塊化設計，具備高度彈性之組合配置，可針對不同之量測需求配置來符合不同之量測應用：搭載電動鼻輪，zui多可同時掛載5種物鏡，使用時直接切換，省去手動更換的麻煩。同時配備電動調整移動平臺，可對樣品作自動調平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動量測之應用，樣品皆不需前處理即可進行非破壞、快速的表面形貌量測與分析，使用于業界研發生產、制程改善以及學術研究等單位。

 

三維光學輪廓儀之高度分辨率可達0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測掃描行程更可達到100mm，且水平軸向亦可達次微米解析，除此三維光學輪廓儀可透過計算機控制移動平臺進行水平掃瞄，使其水平軸向量測范圍可達到150 × 150mm，并可依據客戶需求修改平臺尺寸。三維光學輪廓儀搭配快速的校正程序以及演算原理，系統校正結果可以追朔至NIST標準，并結合數種創新且強固可靠的算法，因此本系列產品可同時擁有高度以及大范圍量測的特質。